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带电粒子束装置.pdfVIP

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  • 2023-05-10 发布于四川
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带电粒子束装置.pdf

    本发明提供了能够准确且高速地定位顶台相对于镜筒的位置的平台装置以及具有该平台装置的带电粒子束装置。本发明所涉及的带电粒子束装置包括第一移动台以及配置在所述第一移动台的上方的第二移动台，测量样品室和所述第一移动台之间的第一相对位置、所述样品室和第二移动台之间的第二相对位置以及所述镜筒和所述样品之间的第三相对位置，根据所述第一相对位置和所述第二相对位置，校正所述第一移动台和所述第二移动台之间的相对位置。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116072491 A (43)申请公布日 2023.05.05 (21)申请号 202211239681.8 (22)申请日 2022.10.11 (30)优先权数据

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