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一种高功率脉冲磁控溅射装置.pdfVIP

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  • 2023-05-10 发布于四川
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一种高功率脉冲磁控溅射装置.pdf

    本发明公开了一种高功率脉冲磁控溅射装置，包括机柜和设置于机柜内部的脉冲磁控溅射装置，所述脉冲磁控溅射装置包括与机柜相连的基座、与基座相连的电极和套设在电极外部的连接组件，具体涉及脉冲磁控溅射装置技术领域。该高功率脉冲磁控溅射装置，通过在连接套的内部设置卡合组件和传动组件，在安装或者拆卸电极时，从而使卡合头在电极轴向的方向抬升或降低，当卡合头抬升时。卡合片会与台阶相接触，由于卡合片通过铰链与片座铰接，且卡合片有一定角度，故卡合片会向外扩展开并卡住台阶，同理，当卡合头下降时，卡合片会与台阶脱离，可快

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114517287 A (43)申请公布日 2022.05.20 (21)申请号 202210172569.0 (22)申请日 2022.02.24 (71)申请人 武汉普迪真空科技有限公司 地址 4

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