1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

图像传感器及其形成方法.pdfVIP

  • 1
  • 0
  • 约1.56万字
  • 约 18页
  • 2023-05-11 发布于四川
  • 举报

图像传感器及其形成方法.pdf

    一种图像传感器及其形成方法，其中方法包括：提供衬底；对衬底进行图形化处理，形成若干呈阵列分布的柱状结构，沿第一方向排布的柱状结构之间具有第一深沟槽，沿第二方向排布的柱状结构之间具有第二深沟槽，沿第三方向排布的柱状结构之间具有交叉深沟槽，柱状结构与第一方向垂直的侧壁为(110)晶面，柱状结构与第三方向垂直的斜切面为(100)晶面；在第一深沟槽、第二深沟槽以及交叉深沟槽内形成掺杂外延层。通过柱状结构与第一方向垂直的侧壁为(110)晶面，柱状结构与第三方向垂直的斜切面为(100)晶面的设置，能够使得最

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114582902 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202210192656.2 (22)申请日 2022.02.28 (71)申请人 华虹半导体（无锡）有限公司 地址

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >