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本发明公开了一种具有过滤及均匀化喷嘴的真空镀膜装置，其特征在于：包括坩埚，其外侧设有感应加热器，坩埚顶部通过蒸汽管道连有布流箱体，布流箱体内设有一水平向的隔板，布流箱体顶部连有喷嘴，蒸汽管道上设有调压阀；所述隔板，包括分压板，及连于其上表面的过滤板，分压板和过滤板均为多孔结构；所述分压板设置为分段式结构，其正对蒸汽管道的位置为D1段，分别位于D1段两侧的D2、D3段，位于D2旁的D4段，及位于D3段旁的D5段。本发明使高温蒸汽和低温钢板接触时，在钢板表面形成均匀镀层。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112553579 A
(43)申请公布日
2021.03.26
(21)申请号 20191
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