基板处理设备和方法.pdfVIP

下载本文档

0
0
约1.95万字
约 26页
2023-05-11 发布于四川
举报
版权申诉

基板处理设备和方法.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明公开了一种基板处理设备以及处理基板的方法，该基板处理设备包括：索引模块；和处理模块，被配置为处理所述基板。索引模块包括：装载端口，其中容纳有基板的容器被放置在装载端口上；和传送框架，设置在装载端口与处理模块之间，传送框架中具有传送空间。传送框架包括：风扇单元，设置在传送空间上方并被配置为将下降气流供应到传送空间中；传送机器人，设置在传送空间中，并被配置为在放置于装载端口上的容器与处理模块之间传送所述基板；干涉构件，用于使由风扇单元供应的下降气流与从容器内部导向传送空间的气流之间的碰撞最小化

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 111403312 A (43)申请公布日 2020.07.10 (21)申请号 20191