纳秒激光诱导等离子体复合飞秒激光加工装置及加工方法.pdfVIP

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2023-05-11 发布于四川
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纳秒激光诱导等离子体复合飞秒激光加工装置及加工方法.pdf

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本发明公开了纳秒激光诱导等离子体复合飞秒激光加工装置及加工方法，加工装置包括飞秒激光器、纳秒激光器、聚焦透镜、透明工件、抛光靶材、工作台和夹具；该抛光靶材装设在工作台上，该透明工件装设在夹具且透明工件和抛光靶材上下布置；该纳秒激光器发出纳秒激光，该纳秒激光经聚焦透镜、透明工件聚焦轰击抛光靶材以产生金属等离子体团，金属等离子体团转移至透明工件背面并反射刻蚀透明工件正面以出现石墨化刻蚀；该飞秒激光器发出飞秒激光，该飞秒激光经聚焦透镜聚焦于透明工件并去除出现的石墨化刻蚀。它具有如下优点：在微纳制造领域

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114571086 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202111678468.2 (22)申请日 2021.12.31 (71)申请人华侨大学地址 362000 福