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根据本发明的实施例的由缺陷图像生成装置执行的缺陷图像生成方法可以包括:接收正常图像和掩蔽缺陷形状的掩蔽图像的步骤;在正常图像中去除掩蔽图像中被掩蔽的缺陷形状的步骤;以及将去除缺陷形状的正常图像输入到经过学习的人工神经网络来获取缺陷图像的步骤。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114586062 A
(43)申请公布日 2022.06.03
(21)申请号 202080073546.3 (74)专利代理机构 成都超凡明远知识产权代理
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