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- 2023-05-11 发布于四川
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本发明提供了一种超掺杂硅太阳能电池及其制备方法、以及真空镀膜装置，所述超掺杂硅太阳能电池包括金属栅线、超掺杂硅层、衬底、钝化层、定域浓硼重掺杂层和背面接触电极，其中，衬底的正面具有减反射绒面；超掺杂硅层设置在所述减反射绒面上，超掺杂硅层为金属或非金属超掺杂层，其表面为硅锥、硅粒或孔洞构成的超掺杂硅减反射层；金属栅线设置在超掺杂硅层上；氧化铝钝化层设置在衬底的背面，钝化层上设置有镂空的区域；定域浓硼重掺杂层设置在钝化层的镂空区域中且与衬底的背面接触；背面接触电极设置在钝化层的镂空区域中且与定域浓硼
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114582992 A
(43)申请公布日 2022.06.03
(21)申请号 202210208038.2 C23C 14/26 (2006.01)
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