取环装置及方法.pdfVIP

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2023-05-11 发布于四川
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取环装置及方法.pdf

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本申请涉及一种取环装置及方法。该取环装置包括：工作平台，用于固定所述待取环晶圆除所述边缘环以外的部分，以及带动所述待取环晶圆进行旋转；解胶粘装置，用于使所述边缘环与所述胶膜之间失去粘性，以使得所述边缘环以向下掉落的方式与所述待取环晶圆分离。上述取环装置能避免将待取环晶圆原本存在的裂纹延深，使得待取环晶圆在取环过程中不易出现因出现裂纹而报废的问题；以向下掉落的方式与待取环晶圆分离，这样即使边缘环在取环过程中出现破裂，也能够直接落下而不会影响待取环晶圆，在使边缘环与胶膜之间变得不粘接的同时将边缘环与

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114536215 A (43)申请公布日 2022.05.27 (21)申请号 202210447779.6 (22)申请日 2022.04.27 (71)申请人绍兴中芯集成电路制造股份有限公