一种单晶炉及一种单晶.pdfVIP

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  • 2023-05-11 发布于四川
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本申请公开一种单晶炉及一种单晶,涉及半导体技术领域,能够提高单晶生产的整棒率。具体方案包括:该单晶炉包括炉体和炉盖,炉体中设有:坩埚;保温筒,保温筒包括上保温筒,上保温筒位于坩埚的顶部,坩埚与保温筒连通;环状保温台,环状保温台设置于保温筒的顶端;隔离筒,隔离筒设置于环状保温台远离坩埚的平面上,且隔离筒的顶端与炉盖之间存在预设间隙。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114574943 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202210215062.9 (22)申请日 2022.03.03 (71)申请人 广东高景太阳能科技有限公司 地址

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