1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种降低轻掺硼晶棒体内铁含量系统及操作方法.pdfVIP

  • 3
  • 0
  • 约1.4万字
  • 约 15页
  • 2023-05-11 发布于四川
  • 举报

一种降低轻掺硼晶棒体内铁含量系统及操作方法.pdf

    本发明公开了一种降低轻掺硼晶棒体内铁含量系统及操作方法，所述调节机构包括支撑台，所述支撑台的顶部开设有凹槽，所述支撑台的底部开设有放置槽，本发明涉及半导体处理技术领域。该降低轻掺硼晶棒体内铁含量系统及操作方法，通过在支撑台、凹槽、放置槽、驱动电机、驱动齿轮、第一槽体、第二槽体、第一转轴、第二转轴、第一转动齿轮、夹持组件、第二转动齿轮、升降机构和传动组件的配合使用下，在轻掺硼单晶未熔融前，在加热的时候实现翻转，从而使得轻掺硼单晶各面受热均匀，以提高处理效果，解决了现有的处理方式采用开放式热场进行轻

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114574975 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202210165196.4 (22)申请日 2022.02.23 (71)申请人 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司 地址

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >