一种耐溅射污染的绝缘增强型栅极系统.pdfVIP

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2023-05-11 发布于四川
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一种耐溅射污染的绝缘增强型栅极系统.pdf

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本发明公开了一种耐溅射污染的绝缘增强型栅极系统，包括通过定位孔依次同轴安装的加速栅结构、栅间绝缘结构和屏栅结构。本发明采用紧凑的结构设计，简化了结构，减少了零件数量，降低了加工和装配的成本和难度；碗状加速栅在保证栅间距不变的情况下，提高了栅间绝缘件的厚度，增强了栅极系统的绝缘性能；栅间绝缘件的阶梯型耐溅射沟槽，有效增加了爬电距离，增强了绝缘性能，同时能够捕获溅射污染物，不易造成栅极短路，增强了绝缘性能，提高了栅极系统的使用寿命；加速栅排气孔降低了由于栅间气体积累导致的栅间击穿短路的风险。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114562436 A (43)申请公布日 2022.05.31 (21)申请号 202210185048.9 (22)申请日 2022.02.28 (71)申请人北京航空航天大学地址 10019