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本发明公开了一种离子刻蚀微调机用挡板装置，涉及离子刻蚀微调机领域，该离子刻蚀微调机用挡板装置包括：挡板控制电源，用于控制高频电压输出；挡板控制数据线，用于将挡板控制电源输出电压输出给挡板安装控制电路板；挡板安装控制电路板，用于得电工作时对每路挡板产生电场，将23Ar离子流停流在挡板处，并随着真空抽走排出真空室；多路挡板机构，用于隔开挡板与外界；挡板，用于停放23Ar离子；挡板控制电源连接挡板控制数据线，与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明与原有挡板机构相比，由开关速度从原来的10ms~30
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114566419 A
(43)申请公布日 2022.05.31
(21)申请号 202210139068.2
(22)申请日 2022.02.15
(71)申请人 北京精恒工控科技有限公司
地址 1
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