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一种超宽禁带非晶MgGaO真空紫外光伏探测器.pdfVIP

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  • 2023-05-11 发布于四川
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一种超宽禁带非晶MgGaO真空紫外光伏探测器.pdf

    本发明涉及基本电气元件领域，具体涉及一种超宽禁带非晶MgGaO真空紫外光伏探测器，包括衬底、MgGa2O4薄膜层、低功函电极层和高功函电极层，所述MgGa2O4薄膜层附着在衬底上部，所述低功函电极层附着在所述MgGa2O4薄膜层的上部、所述高功函电极层附着在所述MgGa2O4薄膜层的上部，且位于所述低功函电极层的一侧。本发明的衬底可选择性大，MgGa2O4具有很好的稳定性及抗辐射能力，易于实现大面积、低成本、批量生产。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114582994 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202210208272.5 (22)申请日 2022.03.04 (71)申请人 仲恺农

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