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本发明涉及一种基于PB神经网络确定离子束抛光去除函数的方法，通过有限次的法拉第扫描和线扫描实验建立数据库，确定离子束电流密度和去除函数分布系数之间的关系，根据法拉第扫描结果，通过线性公式计算去除函数峰值去除率，通过BP神经网络预测去除函数分布系数。本方法得到的去除函数信息与通过实验方法得到的去除函数信息基本相同，却极大的缩短了确定去除函数的时间；同时基于法拉第扫描结果确定去除函数，无需在元件表面进行去除函数实验，从而节约了成本；且本发明通过线性公式和BP神经网络来确定去除函数的分布信息，这种方法
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114564688 A
(43)申请公布日 2022.05.31
(21)申请号 202210107456.2 B24B 1/00 (2006.01)
(22)申请日 2022.01.2
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