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本发明属于压力传感器技术领域，具体提供了一种绝缘型气体压力传感器及其制备方法，其中，传感器包括：面对面设置压力敏感薄膜及衬底，且压力敏感薄膜及衬底之间形成密封空腔；压力敏感薄膜上设有绝缘阵列，衬底上设有梳齿电极，绝缘阵列插入各相邻两个梳齿电极之间。介电常数与输出电容成正比关系，首先保证了其线性度，其次通过计算得到，绝缘材料的介电常数越大，电容变化量就越大。这种结构打破了变间距式电容式压力传感器灵敏度和线性度相互制约的关系，电容器极板间的介电常数随外界压力发生变化，从而改变输出电容。该压力传感器做
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114577391 A
(43)申请公布日 2022.06.03
(21)申请号 202210152949.8
(22)申请日 2022.02.18
(71)申请人 孝感华工高理电子有限公司
地址 4
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