一种三相纳米复合高熵薄膜及其制备方法和应用.pdfVIP

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2023-05-11 发布于四川
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一种三相纳米复合高熵薄膜及其制备方法和应用.pdf

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本发明涉及薄膜材料技术领域，公开了一种三相纳米复合高熵薄膜及其制备方法和应用，所述的制备方法包括基材前处理及双靶磁控溅射共沉积两个步骤，所制备的薄膜为非晶高熵合金基体相/碳化物陶瓷相/非晶碳相的复合结构，该薄膜中高熵合金基体相的存在使其具有优异的韧性，纳米晶陶瓷相使其具有优异的强度，非晶碳相则提供优异的自润滑能力，在摩擦过程中的固体润滑机制主要为氧化物与非晶碳混合的界面润滑膜提供减摩性能，本发明公开的三相纳米复合薄膜具有优异的强韧性与自润滑性能；特别适合用于在极端工况下作业的机械零部件的防护。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116083870 A (43)申请公布日 2023.05.09 (21)申请号 202310363542.4 C23C 14/06 (2006.01) (22)申请日 2023.04.