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搬送装置、成膜方法、电子器件的制造方法以及成膜装置.pdfVIP

搬送装置、成膜方法、电子器件的制造方法以及成膜装置.pdf

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    本发明提供搬送装置、成膜方法、电子器件的制造方法以及成膜装置，通过配置磁铁来提高集尘辊的集尘效率及维护的容易度。基板的搬送装置具备搬送被载置的基板的搬送辊和包围搬送辊的罩单元，罩单元包括设置在搬送辊的下方的托盘和设置在托盘的下方的磁铁。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114574814 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202111382277.1 (22)申请日 2021.11.22 (30)优先权数据 2020-198685 202

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