基于金属铬牺牲层的石墨烯转移方法.pdfVIP

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2023-05-11 发布于四川
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基于金属铬牺牲层的石墨烯转移方法.pdf

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本发明属于化学气相沉积法石墨烯转移技术领域，具体涉及一种基于金属铬牺牲层的石墨烯转移方法。针对现有石墨烯转移方法中容易造成聚甲基丙烯酸甲酯残留，并且使用的贵金属成本高的问题，本发明提供了一种基于金属铬牺牲层的石墨烯转移方法，包括如下步骤：a、在金属基底上生长石墨烯；b、正面沉积一层金属铬；c、将聚甲基丙烯酸甲酯旋涂到正面上，加热固化；d、背面放入轰击等离子体的装置，抽真空后轰击等离子体；e、正面朝上加入蚀刻溶液中，蚀刻掉金属基底；f、去除聚甲基丙烯酸甲酯；g、去除铬金属层。本发明首次采用金属铬沉

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114538429 A (43)申请公布日 2022.05.27 (21)申请号 202210407712.X (22)申请日 2022.04.19 (71)申请人深圳前海石墨烯产业有限公司地址