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本发明公开了一种石英舟插片方法和取片方法，所述石英舟插片方法包括以下步骤：提供一种倾斜式石英舟，所述倾斜式石英舟包括左侧板、右侧板和连接左侧板、右侧板的若干横杆，横杆采用与水平方向倾斜设置，上横杆与下横杆的相对表面上开设有连续的卡槽；利用抓手夹持左右定位柱，将所述倾斜式石英舟以垂直于侧板方向为轴自身旋转90°，放置到护板上，利用垫位件对所述倾斜式石英舟进行调整，将倾斜式石英舟的横杆摆正，机械手从竖直方向上向所述倾斜式石英舟上插片；插片完成后，在所述倾斜式石英舟的上方也放置护板，然后反向旋转90°
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114551638 A
(43)申请公布日 2022.05.27
(21)申请号 202210069389.X
(22)申请日 2022.01.21
(71)申请人 无锡松煜科技有限公司
地址 214
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