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- 2023-05-11 发布于四川
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本发明公开了一种硅片生产用的抓取装置，包括：连接板；若干个支架，彼此间隔的设置在连接板上；若干个夹持机构,包括第一驱动装置、两个支撑件、若干个手指夹杆和若干个辅助支撑装置，手指夹杆上设置有卡槽，若干个手指夹杆分别设置在两个支撑件两侧，且每个支撑件两侧的手指夹杆上的卡槽相互垂直，第一驱动装置倾斜的设置在支架上用于驱动两个支撑件远离或靠近。本发明采用模拟人的手指方式固定硅片的四个边角，以达到夹住的目的，同时对硅片进行校正动作，且在与硅片接触时，最大限度的减少对硅片的磨损，减少不良率；对硅片放置时的定
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114582789 A
(43)申请公布日 2022.06.03
(21)申请号 202210207543.5
(22)申请日 2022.03.03
(71)申请人 江西汉可泛半导体技术有限公司
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