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- 2023-05-11 发布于四川
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本公开实施例提供一种掩模组件及其制备方法，其中，该掩模组件包括掩模版，掩模版的周缘设置有夹持槽；夹盖，夹盖的形状与夹持槽的形状适配；掩模版位于夹持槽之外的表面以及夹盖的表面均设置有氧化膜。本公开实施例的技术方案可以避免夹持槽的表面与工艺气体发生反应而生锈或腐蚀，从而避免污染工艺环境。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114582723 A
(43)申请公布日 2022.06.03
(21)申请号 202210210772.2
(22)申请日 2022.03.04
(71)申请人 京东方科技集团股份有限公司
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