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集成有底部反射层的、垂直耦合的二元闪耀亚波长光栅耦合器及制备方法.pdfVIP

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  • 2023-05-11 发布于四川
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集成有底部反射层的、垂直耦合的二元闪耀亚波长光栅耦合器及制备方法.pdf

    本发明公开了一种集成有底部反射层的、垂直耦合的二元闪耀亚波长光栅耦合器，自上而下的薄膜功能层、键合层、底部反射层和衬底层。功能层为脊型结构，包括输入/出光栅耦合器、光子波导器件区域。输入/出光栅耦合器呈对称分布内设置有周期性排布的二元闪耀亚波长结构的光栅阵列，每个周期中设置有一个不同宽度的主级和次级亚波长光栅，相邻亚波长光栅之间形成宽度不一的间隔槽，最后一个次级亚波长光栅与中间的光波导区域相临近。降低器件复杂度的同时优化设计以实现最大光耦合效率，额外设置了底部反射层来防止光线向底部泄露，光纤和光

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114578487 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202210160444.6 (22)申请日 2022.02.22 (71)申请人 上海交通大学 地址 200240

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