真空互锁抽气设备及真空互锁抽气的方法.pdfVIP

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2023-05-12 发布于四川
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真空互锁抽气设备及真空互锁抽气的方法.pdf

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本申请涉及一种真空互锁抽气设备及真空互锁抽气的方法，包括真空互锁腔、第一缓冲腔和第一抽气管路，其中，所述真空互锁腔上设有进气阀；所述第一抽气管路与所述真空互锁腔连通，所述第一抽气管路未与所述真空互锁腔连通的一侧设有第一抽气组件，用于对所述真空互锁腔抽气；所述第一抽气组件与所述真空互锁腔之间的所述第一抽气管路上还设有第一抽气阀体；所述真空互锁腔和所述第一缓冲腔之间设有第一阀体；所述第一缓冲腔与所述第一抽气组件之间设有第二阀体。其减小了抽真空的时间，提高了设备的效率。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116085226 A (43)申请公布日 2023.05.09 (21)申请号 202110583648.6 F04B 41/02 (2006.01)