晶圆激光low-k设备旋转涂胶真空转接装置.pdfVIP

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2023-05-12 发布于四川
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晶圆激光low-k设备旋转涂胶真空转接装置.pdf

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本发明涉及晶圆加工设备技术领域，具体涉及一种晶圆激光low‑k设备旋转涂胶真空转接装置，该装置包括真空转动轴，真空转动轴内具有排气通道；轴承，轴承转动装配在真空转动轴的外周；轴承安装体，轴承安装体用于安装轴承和供真空转动轴穿过，轴承安装体内设置有抽吸通道，抽吸通道连通排气通道；磁性密封件，磁性密封件布置在轴承安装体内，在真空转动轴的轴线方向上，抽吸通道的一侧或两侧布置有所述磁性密封件；无磁性密封件，无磁性密封件布置在轴承安装体内，在真空转动轴的轴线方向上，抽吸通道的一侧或两侧布置有无磁性密封件，

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114589073 A (43)申请公布日 2022.06.07 (21)申请号 202210313252.4 (22)申请日 2022.03.28 (71)申请人河南通用智能装备有限公司地址 4