真空排气系统.pdfVIP

下载本文档

8
0
约9.99千字
约 13页
2023-05-12 发布于四川
举报
版权申诉

真空排气系统.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

提供一种能够实现泵、阀的小型化及使配管径变细，并且能够从高真空到大流量域进行发挥泵的排气特性的高效率的排气的真空排气系统。在真空腔室(5)内已使用的工艺气体经过调整阀(7)而到达分支配管(29)。分支配管(29)的图中由A表示的一侧的流路与第2泵的吸气口连接。另一方面，在分支配管(29)的图中由B表示的一侧的流路配设有旁通用阀(23)。而且，在第2泵的排气口的下游和旁通用阀(23)的下游，经由分支配管(27)连接着第1泵。在低中真空区域(大流量排气时)，将旁通用阀(23)打开。此时，用经过第2泵

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116096997 A (43)申请公布日 2023.05.09 (21)申请号 202180061623.8 (74)专利代理机构中国专利代理(香港)有限公