能够对准图案的转印装置、制造图案基板的方法及记录介质.pdfVIP

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2023-05-12 发布于四川
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能够对准图案的转印装置、制造图案基板的方法及记录介质.pdf

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一种能够对准图案的转印装置、制造图案基板的方法及记录介质。能够对准图案的转印装置包括：第一按压单元，对形成有图案的模具进行支承；第二按压单元，对形成有树脂的基板进行支承；模具夹具，一部分开放形成以使得模具的中心部朝向基板暴露，并支承模具的边缘部；夹钳，支承模具夹具的两侧边缘而将模具夹具固定于第一按压单元侧，夹钳形成有：下侧滑动部件，在下方支承模具夹具；上侧滑动部件，在上方支承被支承的模具夹具，第一按压单元及第二按压单元中的任一个能够朝向另一个移动，使得模具和基板彼此按压，从而彼此加压而将在模具形

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114609861 A (43)申请公布日 2022.06.10 (21)申请号 202210319958.1 (22)申请日 2021.05.27 (30)优先权数据