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本发明提供了一种多线切割机线轮,包括线轮轴、线轮、定位压盖、紧定螺钉、压紧弹簧和弹簧压座;线轮轴的近端用于连接驱动主轴,线轮轴的远端设置定位压盖;弹簧压座设置在线轮轴中,并能够沿线轮轴的轴线方向移动;压紧弹簧的近端和远端分别抵接弹簧压座和线轮轴;紧定螺钉穿过定位压盖、线轮轴然后与弹簧压座螺接;线轮轴的近端设置有锥形凸台,定位压盖呈锥台状;线轮同轴地套设在线轮轴的外侧,且线轮的两端分别与锥形凸台的锥面、定位压盖的锥面贴合连接。本发明的多线切割机线轮,通过紧定螺钉、压紧弹簧和弹簧压座将定位压盖弹性压
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114603731 A
(43)申请公布日 2022.06.10
(21)申请号 202210327353.7
(22)申请日 2022.03.30
(71)申请人 北京半导体专用设备研究所(中国
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