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本公开内容提供一种体声波谐振器，其包括一空腔，所述空腔形成在衬底中或形成在衬底上的一支撑层中；一下电极、一压电层和一上电极；所述下电极、所述压电层和所述上电极的重叠区域构成一三明治结构；以所述衬底上表面作为投影表面，在所述三明治结构中，所述下电极在所述投影表面上的投影形状与所述空腔在所述投影表面上的投影形状不完全重合，且所述空腔和所述下电极在所述衬底上表面的复合投影形状内至少有二个彼此独立的区域，所述独立区域分别由所述空腔的部分轮廓线构成所述独立区域的外轮廓线和所述下电极的部分轮廓线构成所述独立
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114614789 A
(43)申请公布日 2022.06.10
(21)申请号 202210268917.4
(22)申请日 2022.03.18
(71)申请人 苏州汉天下电子有限
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