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一种便于读取waferID装置.pdfVIP

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  • 2023-05-12 发布于四川
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一种便于读取waferID装置.pdf

    本发明公开了一种便于读取waferID装置，包括开设在机台镜头左侧保护罩内腔的空槽和聚光灯，所述空槽的内壁固定连接有防静电亚克力板，本发明涉及晶圆加工技术领域。该一种便于读取waferID装置，在使用时，通过在机台镜头左侧保护罩上开孔，通过架设聚光灯，然后在空槽内侧固定安装防静电亚克力板，在防静电亚克力板的中心位置开孔cm的对焦孔，便于观察聚光灯照射到机台OCR位置，如果不能有效照射到，调节到可读位置为准，解决了Redink机台内光线暗，经常出现OCR不能读出正确的waferID，从而造成作业

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116053166 A (43)申请公布日 2023.05.02 (21)申请号 202310034317.6 (22)申请日 2023.01.10 (71)申请人 合肥新汇成微电子股份有限公司 地址

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