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本发明公开了一种纳米氧化铝抛光液及在红外硫系玻璃抛光中的应用，以纳米氧化铝粉体为磨料，并添加助剂和水，待上述体系稳定后再加入氟化盐作为氧化剂，制得所述纳米氧化铝抛光液；所述纳米氧化铝粉体使用脂环族胺溶液作为稳定剂，将其与铝盐溶液混合，再加入分散剂和碱性沉淀剂，对上述混合物进行水热反应，形成具有勃姆石结构氧化铝水悬浮液，干燥悬浮液后进行高温煅烧，形成α型的纳米氧化铝粉体。本发明制备的氧化铝产品拥有极高的分散性，粒径可控，形貌均一，以该氧化铝为磨料的CMP抛光液，提高了抛光液的稳定性，实现了抛光液兼
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116042098 A
(43)申请公布日 2023.05.02
(21)申请号 202310076790.0
(22)申请日 2023.02.08
(71)申请人 广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院
地
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