套刻偏差的测量方法.pdfVIP

下载本文档

18
0
约2.04万字
约 19页
2023-05-12 发布于四川
举报
版权申诉

套刻偏差的测量方法.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

一种套刻偏差的测量方法，包括：提供第一批次晶圆，第一批次晶圆中包括若干第一测量点；采用第一波长光源对第一批次晶圆进行测量，获取第一测量值组；采用第二波长光源对第一批次晶圆进行测量，获取第二测量值组；获取第二测量值组与第一测量值组之间的偏差值组；提供第二批次晶圆，第二批次晶圆中包括若干第二测量点；采用第一波长光源对第二批次晶圆进行测量，获取第三测量值组；将第三测量值组与偏差值组相加，获取第四测量值组。使得第二批次晶圆在具有高测量效率的同时，测量精度也有效提升。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114609090 A (43)申请公布日 2022.06.10 (21)申请号 202011424765.X (22)申请日 2020.12.08 (71)申请人中芯南方集成电路制造有限公司地址