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本发明涉及进行基板的输送的装置和输送基板的方法。提供一种使利用磁悬浮输送基板的基板输送模块洁净化的技术。在相对于进行基板的处理的基板处理室进行基板的输送的装置中，基板输送室具有：地面部，其设有第1磁体；和侧壁部，其形成有开口部，该开口部与所述基板处理室连接。基板输送模块具备基板保持部和第2磁体，构成为能够通过使用了在与第1磁体之间作用的反作用力的磁悬浮而在基板输送室内移动。加热部对基板输送模块进行加热，以使在该基板输送模块的表面附着的污染物质放出。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116092989 A
(43)申请公布日 2023.05.09
(21)申请号 202211316976.0
(22)申请日 2022.10.26
(30)优先权数据
2021-180835 202
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