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本发明提供了一种微量低浓度溶液的自动精准配制装置、方法和半导体处理系统。所述溶液自动配制装置包括：管线；五个旋转阀，其中第一旋转阀的至少一个选用通孔接收至少一种稀释液，第二旋转阀的共用通孔通过管线与第一旋转阀的共用通孔连通，第三旋转阀的共用通孔与第四旋转阀的一个选用通孔连通，第四旋转阀的至少一个选用通孔接收至少一种原液，第五旋转阀的至少一个选用通孔通过管线与配制液容器连通，第五旋转阀的一个选用通孔通过管线连通废液收集容器或废液排放管道；第一定量环，连通于第二旋转阀的一个选用通孔和第三旋转阀的一个
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116078259 A
(43)申请公布日 2023.05.09
(21)申请号 202111314416.7 H01L 21/67 (2006.01)
(22)申请日 2021.11.
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