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本发明提供了一种半导体器件及其调节方法,涉及半导体器件的技术领域,该半导体器件包括半导体制冷器、第一基板、半导体元件和输出组件,半导体元件发出的能量经输出组件耦合后输出,半导体制冷器作用于第一基板上,用于调节第一基板的温度;第一基板包括依次连接为一体的多层材料片,多层材料片中至少有两层材料片的热膨胀系数及弹性模量均不同;本发明采用主动控制的方法,在半导体器件完成耦合封装以后,通过外部设置恰当的温度实现第一基板的弯曲变形,达到调节半导体元件和输出组件相对位置的目的,使得半导体器件在加工完成后依然可
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 114582819 B
(45)授权公告日 2022.08.19
(21)申请号 202210483860.X H01L 23/14 (2006.01)
(22)申请日 2022.05
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