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本发明公开了一种深型轴棱锥光学元件表面碎带误差抑制方法及工具，属于先进光学制造领域。所述方法通过计算平滑磨具在元件表面加工过程中的非充分接触分布情况，结合计算深型轴棱锥元件的面形数据，包括计算其曲率半径分布及变化情况，根据该深型轴棱锥元件面形数据中的不同曲率半径划定等高线环带区域，设置此等高线环带为碎带误差去除走刀路径，对元件进行碎带误差去除加工。所述工具为一扇形误差抑制盘，包括抑制盘刚性底盘、可适应面形柔性层、往复运动驱动轴。本发明针对深型轴棱锥光学元件的碎带误差抑制提出碎带误差去除方案及工具
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 114603430 B
(45)授权公告日 2022.08.19
(21)申请号 202210502145.6 CN 101088705 A,2007.12.19
(22)申请日
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