一种堆叠式芯片以及堆叠式芯片的检测方法.pdfVIP

一种堆叠式芯片以及堆叠式芯片的检测方法.pdf

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本发明提供一种堆叠式芯片及堆叠式芯片的测试方法,堆叠式芯片包括:至少两个待测晶圆,至少两个待测晶圆包括:第一待测晶圆以及第二待测晶圆;第一待测晶圆与第二待测晶圆层叠设置,且通过连接层互连;布线层,布线层位于第一待测晶圆远离第二待测晶圆的一侧,布线层包括导电焊盘,第一待测晶圆连接导电焊盘,且第二待测晶圆通过连接层连接导电焊盘;比较单元,比较单元位于至少两个待测晶圆中其中一个待测晶圆上,用于将写入第一待测晶圆的第一数据与写入第二待测晶圆的第二数据进行比较,以确定连接层是否可靠;其中,第二数据是通过连

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114613757 A (43)申请公布日 2022.06.10 (21)申请号 202210172154.3 (22)申请日 2022.02.24 (71)申请人 西安紫光国芯半导体有限公司 地址

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