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本发明公开了一种真空镀膜机腔体冷却装置,包括箱体，箱体内设有真空镀膜机腔体，箱体内壁底部设有底部冷却装置，箱体内壁顶部设有水流冷却装置以及气流冷却装置；底部冷却装置包括对称设于箱体内壁底部的多个支撑柱，设于多个支撑柱顶部的圆弧形支撑块，设于圆弧形支撑块顶部的圆弧形安装板，嵌设于圆弧形支撑块顶部的滑动部件，嵌设于圆弧形安装板顶部的降温部件，以及设于箱体内壁底部的储水箱；水流冷却装置包括水盒、喷水部件以及引流部件；气流冷却装置包括对称设于箱体内壁顶部的连接柱，以及设于连接柱底部的气流冷却部件。本发明
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116043167 A
(43)申请公布日 2023.05.02
(21)申请号 202211713038.4
(22)申请日 2022.12.30
(71)申请人 青岛久越新材料科技有限公司
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