一种太赫兹MEMS带宽可重构滤波器及其实现方法.pdfVIP

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2023-05-12 发布于四川
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一种太赫兹MEMS带宽可重构滤波器及其实现方法.pdf

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本发明公开了一种太赫兹MEMS带宽可重构滤波器及其实现方法。本发明通过两个MEMS角度执行器嵌入到矩形波导中，利用偏置电压改变其中的2N个可转动平面的转动角度，调节太赫兹滤波器的工作带宽，解决了当前太赫兹可重构滤波器性能差且可调器件体积大的问题；本发明通过同步对称改变太赫兹MEMS带宽可重构滤波器所有可转动平面的转动角度，实现太赫兹MEMS带宽可重构滤波器的工作带宽连续可调且带宽上边带保持不变，解决了传统太赫兹滤波器工作带宽调节时带宽边带频点无法固定的问题；本发明中具有结构小、损耗低、易于太赫兹

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116053732 A (43)申请公布日 2023.05.02 (21)申请号 202310093413.8 (22)申请日 2023.01.19 (71)申请人北京理工大学地址 100081