原创力文档- 5
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- 2023-05-12 发布于四川
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本发明公开了一种电子级双（二乙氨基）硅烷的制造装置及制造方法，该制造装置设置有原料反应体系、膜分离装置、三联氮气保护精馏釜组件、三废回收处理装置；其中原料反应体系与膜分离装置之间设置有固液分离装置与反应物检测装置；膜分离装置内设置有过滤孔径0.1μm的微孔滤膜；膜分离装置与三联氮气保护精馏釜组件联通，还设置有预提纯物检测装置；三联氮气保护精馏釜组件均设置有冷凝装置和回流控制装制；三联氮气保护精馏釜组件排出的气体和固体均通入三废回收处理装置。本发明生产过程环保、原料种类简单、排放物少、产物纯度高。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116036630 A
(43)申请公布日 2023.05.02
(21)申请号 202310034798.0 B01D 3/42 (2006.01)
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