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本发明提供了一种基于完工时间的提前派车方法、系统及计算机设备，提前派车方法包括：对各机台上的当前晶圆完工时间进行预测，获取当前晶圆完工时间在第一预设时间范围内的全部机台，得到机台集合；对各小车从当前位置出发分别前往所述机台集合中各机台处的行驶时间进行预测，获取小车行驶时间在第二预设时间范围内的全部小车，得到小车集合；将所述机台集合和所述小车集合进行最优匹配，获得所有运输时间之和最小的小车与机台指派方案。本发明能够对晶圆在机台上的完工时间进行预测，提前派车前往即将完工的机台，减小晶圆占用机台的时间
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 114613710 B
(45)授权公告日 2022.07.26
(21)申请号 202210506018.3 CN 103885428 A,2014.06.25
(22)申请日 20
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