一种激光内腔双光谱石英增强型痕量气体传感系统及方法.pdfVIP

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2023-05-12 发布于四川
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一种激光内腔双光谱石英增强型痕量气体传感系统及方法.pdf

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本发明公开了一种激光内腔双光谱石英增强型痕量气体传感系统及方法，所述一种激光内腔双光谱石英增强型痕量气体传感系统包括激光装置、气体传感器和输出装置，气体传感器具有进气孔和出气孔，内部设置音叉，音叉的两叉臂中间左侧设置第一准直器，右侧设置第二准直器，音叉的叉底右侧设置第三准直器，左侧设置第四准直器，音叉的叉底通过化学蚀刻去除金属薄膜，第一准直器和第四准直器皆与激光装置相连，第二准直器通过光纤连接第三准直器，气体传感器的输出端连接输出装置，第一准直器与音叉之间设置声波增强结构，第二准直器与音叉之间设

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114594053 A (43)申请公布日 2022.06.07 (21)申请号 202210445884.6 (22)申请日 2022.04.26 (71)申请人聊城大学地址 252000 山