狭缝涂布设备及其使用方法.pdfVIP

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2023-05-13 发布于四川
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狭缝涂布设备及其使用方法.pdf

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本发明公开了一种狭缝涂布设备及其使用方法，狭缝涂布设备包括：基台；基片传送装置，所述基片设置在所述基台上；多个涂布单元，所述涂布单元的数量大于两个，所述涂布单元包括涂布刀头和至少一个后处理单元；控制装置，所述控制装置与多个所述涂布单元相连，以独立控制所述涂布单元的高度；其中，所述后处理单元包括风刀处理和加热处理。通过多个涂布单元以及后处理单元相结合，该涂布设备可以兼容更多制备多膜层结构组件，如钙钛矿太阳能组件的各项工艺，从而有效降低设备成本和占用空间，提高制备效率。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114632670 A (43)申请公布日 2022.06.17 (21)申请号 202210301470.6 (22)申请日 2022.03.24 (71)申请人无锡极电光能科技有