用于生成同步射频输出信号的控制单元、射频功率发生器和方法.pdfVIP

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2023-05-13 发布于四川
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用于生成同步射频输出信号的控制单元、射频功率发生器和方法.pdf

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本发明描述了一种用于生成各自具有相应的输出频率(fi)、相位(ΦL)和幅度(Ai)的多个同步射频(RF)输出信号(RFout,i)的控制单元(2、21)，该控制单元(2、21)包括：信号比较器(3)，其被配置为将具有参考频率(fref)和参考相位(Φref)的参考信号(4)与具有反馈频率(fPLL)和反馈相位(ΦPLL)的反馈信号(5)进行比较，并且被配置为生成表示参考信号(4)和反馈信号(5)之间的差异的误差信号(6、6’)；以及数据处理单元(7)，其接收由信号比较器(3)生成的误差信号(6、

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116057837 A (43)申请公布日 2023.05.02 (21)申请号 202180058716.5 (71)申请人康姆艾德公司