半导体器件测试探针台.pdfVIP

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2023-05-13 发布于四川
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半导体器件测试探针台.pdf

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本发明属于半导体器件技术领域，公开了半导体器件测试探针台，包括检测台，所述检测台的顶部设置有检测槽，所述检测台的顶部设置用操作台，所述操作台上安装有工作箱，所述工作箱的底部安装有调节装置，所述调节装置的底部固定安装有测试摄像头，所述工作箱的底部固定连接有两个电动推杆，两个所述电动推杆分别位于测试摄像头的左右两侧，两个所述电动推杆相对的一端均安装有安装架，所述安装架上安装有探针杆，所述探针杆的底端设置有探针头。本发明，能够对探针头以及晶圆双向保护，避免探针头的弯折以及晶圆的破损，保证测试探针台的正

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114636844 A (43)申请公布日 2022.06.17 (21)申请号 202210306620.2 (22)申请日 2022.03.25 (71)申请人苏州晶睿半导体科技有限公司地址