用于涂覆粘合剂的丝网结构以及使用其固定SiC籽晶的方法.pdfVIP

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2023-05-13 发布于四川
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用于涂覆粘合剂的丝网结构以及使用其固定SiC籽晶的方法.pdf

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本发明涉及一种用于涂覆粘合剂的丝网结构，该丝网结构通过环形涂胶挡板和丝网来限定粘合剂层的厚度，使得粘合剂层厚度均匀，从而使得籽晶和坩埚盖之间存在均匀间隙，保证籽晶各个区域温度受热均匀，使碳化硅能够均匀生长，同时能够抑制籽晶背面多晶生长升华，避免带来微管缺陷。另外，均匀间隙的存在还能够满足籽晶在加热生长过程中释放内应力的需求，避免随着籽晶上的单晶生长，表面机械应力和热应力增加而造成籽晶变形甚至破裂。此外，本发明还涉及使用上述丝网结构固定SiC籽晶的方法，该方法通过丝网将粘合剂均匀涂刷于坩埚盖上并且

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114635185 A (43)申请公布日 2022.06.17 (21)申请号 202210134816.8 (22)申请日 2022.02.14 (71)申请人浙江富芯微电子科技