利用铁催化作用在本征金刚石表面制备欧姆接触的方法.pdfVIP

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2023-05-13 发布于四川
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利用铁催化作用在本征金刚石表面制备欧姆接触的方法.pdf

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利用铁催化作用在本征金刚石表面制备欧姆接触的方法，本发明解决半导体器件在金属‑半导体接触处会产生较大的能量损耗等问题。制备欧姆接触的方法：在清洗后的金刚石上匀胶处理，再进行光刻处理，然后在光刻后的金刚石表面磁控溅射沉积Fe层，经过清洗去胶，将表面镀制有铁的金刚石置于石英管中密封，石英管内充有保护气体，然后转移至管式炉中，在800～950℃下退火处理，在本征金刚石表面制备欧姆接触。本发明通过控制退火温度和时间获得最小的接触电阻率，极大提高了导电性能，触点结合性能较好可以长时稳定的工作，由于Fe的存

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114628249 A (43)申请公布日 2022.06.14 (21)申请号 202210258284.9 (22)申请日 2022.03.16 (71)申请人哈尔滨工业大学地址 150001