聚焦曲线的拟合方法、拟合装置及测量系统.pdfVIP

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2023-05-13 发布于四川
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聚焦曲线的拟合方法、拟合装置及测量系统.pdf

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本公开描述了一种聚焦曲线的拟合方法、拟合装置及测量系统，拟合方法包括：获取测量信息，测量信息包括多个第一测量信息、第二测量信息、以及多个第三测量信息；在多个第一测量信息中获取多个第一目标测量信息，在多个第三测量信息中获取多个第三目标测量信息，响应于第一测量信息与第三测量信息呈对称状态而基于第一目标测量信息和第三目标测量信息拟合聚焦曲线；响应于第一测量信息与第三测量信息呈非对称状态而基于靠近第二测量信息的多个第一测量信息、第二测量信息、以及靠近第二测量信息的多个第三测量信息拟合聚焦曲线。根据本公开

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116045841 A (43)申请公布日 2023.05.02 (21)申请号 202211476570.9 (22)申请日 2022.11.23 (71)申请人深圳市中图仪器股份有限公司地址