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光罩及光罩的制备方法.pdfVIP

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  • 2023-05-13 发布于四川
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光罩及光罩的制备方法.pdf

    本申请公开了光罩及光罩的制备方法，用以避免对光罩进行破坏性制程失败导致光罩报废无法使用，节约成本。本申请实施例提供的一种光罩，光罩包括：第一基板，包括：相对的第一表面和第二表面，连接第一表面和第二表面的第一侧面，以及在第一侧面开口的容置空间；第二基板，置于容置空间内，第二基板内形成有像素场。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113625525 A (43)申请公布日 2021.11.09 (21)申请号 202110906700.7 (22)申请日 2021.08.09 (71)申请人 长鑫存储技术有限公司

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