光电耦合平台和传感器.pdfVIP

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2023-05-13 发布于北京
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一种传感平台包括半导体结，尤其是SiC/Si异质结，其中一对电极以间隔开的关系位于所述半导体结的上部层的表面上。所述传感平台包括在所述上部层的所述表面上方的光源，其用以照明包括所述电极中的一个的至少部分的所述半导体结的所述表面的部分，以通过半导体中的光伏效应在所述一对电极之间产生横向电位梯度。例如力和温度的参数是基于测量由于压阻效应和/或热阻效应引起的半导体材料的电阻的改变而被检测。外部电位差可施加在所述一对电极之间以产生调谐电流以调制所述半导体结中的所述压阻效应和所述热阻效应。所述传感平台用于

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114641675 A (43)申请公布日 2022.06.17 (21)申请号 202080052812.4 (74)专利代理机构北京世峰知识产权代理有限